化学气相沉积

CVD是在高温远高于临界温度下
更新时间:2019-10-30 13:26 浏览:92 关闭窗口 打印此页

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  我翻了《材料概论》半天终于找到。化学气相沉积法CVD和等离子气相沉积法PCVD两者都是利用化学气相法制备纳米粉体的方法,在气象条件下,首先形成离子或原子,然后长大形成所需粉体,得到超细粉体。对于他们的不同,CVD是在高温远高于临界温度下,产物蒸汽形成过饱和蒸气压,自动凝聚成晶核,在聚集成颗粒,在低温区得到纳米粉体。可以选择条件来控制粉体的大小形状等。对于PCVD,它是利用电弧产生高温,将气体等离子化,然后这些离子逐渐长大聚合,形成超细粉体,该方法反应温度高,升温冷却速率较快。

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